微導(dǎo)納米以原子層沉積(ALD)技術(shù)為核心，主要從事先進(jìn)微、納米級(jí)薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，向下游客戶提供先進(jìn)薄膜沉積設(shè)備、配套產(chǎn)品及服務(wù)。

財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)顯示，公司2018年、2019年、2020年、2021年前9月營(yíng)收分別為4,191.06萬元、2.16億元、3.13億元、2.31億元;同期對(duì)應(yīng)的凈利潤(rùn)分別為-2,827.47萬元、5,455.11萬元、5,701.44萬元、2,055.48萬元。

在科創(chuàng)板首輪問詢中，上交所主要關(guān)注微導(dǎo)納米科創(chuàng)屬性、主要產(chǎn)品、市場(chǎng)地位、產(chǎn)銷及存貨情況、銷售和主要客戶、收入、采購(gòu)和供應(yīng)商、期間費(fèi)用、應(yīng)收票據(jù)及應(yīng)收款項(xiàng)、委托經(jīng)營(yíng)及解除情況等16個(gè)問題。

關(guān)于科創(chuàng)屬性，上交所要求發(fā)行人說明：(1)發(fā)行人主要產(chǎn)品與我國(guó)最新產(chǎn)業(yè)政策文件重點(diǎn)支持產(chǎn) 品的匹配情況及收入占比;(2)發(fā)行人核心技術(shù)在生產(chǎn)與服務(wù)中的具體應(yīng)用， 結(jié)合委托先導(dǎo)智能加工裝配的情況及直接材料成本占比，說明發(fā)行人核心生產(chǎn) 工序與非核心生產(chǎn)工序的劃分，發(fā)行人進(jìn)行組裝、檢測(cè)和調(diào)試的技術(shù)難度，區(qū) 分應(yīng)用領(lǐng)域說明發(fā)行人技術(shù)先進(jìn)性與技術(shù)壁壘的具體體現(xiàn);(3)發(fā)行人針對(duì) TOPCon 電池和 HJT 電池薄膜沉積的技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)品銷售情況，結(jié)合技術(shù)指標(biāo) 對(duì)比，說明發(fā)行人相關(guān)產(chǎn)品是否具有技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì);(4)前述三大技術(shù)路線在 光伏領(lǐng)域的市場(chǎng)份額占比情況與技術(shù)難度差異，各技術(shù)路線的發(fā)展趨勢(shì)及相互 轉(zhuǎn)換的難度，ALD 技術(shù)能否應(yīng)用于新型電池技術(shù)路線，結(jié)合三類技術(shù)的優(yōu)劣勢(shì)、 下游技術(shù)路線變化情況、客戶需求、設(shè)備成本，說明光伏領(lǐng)域 ALD 技術(shù)是否存在被取代的風(fēng)險(xiǎn)。

微導(dǎo)納米回復(fù)稱，公司報(bào)告期內(nèi)主營(yíng)業(yè)務(wù)收入中除零星的備品備件外，專用設(shè)備及設(shè)備改造業(yè)務(wù)均應(yīng)用了公司的核心技術(shù)，均屬于我國(guó)產(chǎn)業(yè)政策文件重點(diǎn)支持產(chǎn)品。

2018-2021 年，公司相關(guān)業(yè)務(wù)收入分別為3,898.03萬元、20,194.69萬元、30,141.22萬元、42,301.11萬元，占營(yíng)業(yè)收入比重分別為 93.01%、93.57%、96.44%、98.85%。其中 2021年度屬于光伏領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)政策支持的業(yè)務(wù)收入為39,781.11萬元，占營(yíng)業(yè)收入比例為 92.96%，屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)政策支持的業(yè)務(wù)收入為 2,520.00萬元，占營(yíng)業(yè)收入比例為 5.89%。

公司產(chǎn)品生產(chǎn)涉及的核心工序包括工藝設(shè)計(jì)、產(chǎn)品設(shè)計(jì)、系統(tǒng)集成、設(shè)備功能檢測(cè)、廠內(nèi)工藝調(diào)試、現(xiàn)場(chǎng)安裝與調(diào)試等步驟。公司早期與先導(dǎo)智能合作的業(yè)務(wù)實(shí)質(zhì)為外協(xié)采購(gòu)，主要系滿足公司當(dāng)時(shí)業(yè)務(wù)發(fā)展階段和業(yè)務(wù)體系下的生產(chǎn)需要，涉及的工序環(huán)節(jié)包括元器件采購(gòu)、組裝的部分工序，均為公司產(chǎn)品的非核心工序。公司直接材料成本占比較高，與公司生產(chǎn)組織模式具有相關(guān)性，與同行業(yè)可比公司基本相當(dāng)。

ALD 技術(shù)因其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，展現(xiàn)出良好的應(yīng)用前景，但其產(chǎn)業(yè)化過程中需要在提高沉積速率、連續(xù)化生產(chǎn)、提高鍍膜質(zhì)量、降低成本等方面進(jìn)行技術(shù)突破，從而提升設(shè)備綜合性能和競(jìng)爭(zhēng)力。公司通過精確計(jì)算、流體力場(chǎng)仿真工作等方式，獨(dú)立研發(fā)了噴淋板、雙腔體熱壁反應(yīng)器配合高速反應(yīng)氣體切換、反應(yīng)源輸送等設(shè)計(jì)方案，并結(jié)合有效能量控制，不斷對(duì)工藝進(jìn)行優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)了ALD設(shè)備在生產(chǎn)性能和薄膜質(zhì)量等方面的技術(shù)領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。公司的 ALD 設(shè)備已在市場(chǎng)中得到了主流客戶的認(rèn)可，并取得良好的市場(chǎng)口碑。

在光伏領(lǐng)域，公司在保證薄膜質(zhì)量的前提下，實(shí)現(xiàn)了超大裝載量和超高產(chǎn)能的ALD設(shè)備批量化應(yīng)用，并不斷開發(fā)新型技術(shù)用于新型高效電池生產(chǎn)。

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，公司產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量薄膜的沉積，解決了先進(jìn)制程中薄膜沉積均勻性、金屬污染及顆粒污染等工藝難題，滿足了先進(jìn)器件產(chǎn)品生產(chǎn)要求。設(shè)備的鍍膜質(zhì)量、產(chǎn)能水平、穩(wěn)定運(yùn)行能力等方面均達(dá)到國(guó)際同行業(yè)水平。

公司所擁有的技術(shù)均為自主研發(fā)，具備創(chuàng)新性及先進(jìn)性，具備較高的技術(shù)壁壘。

從技術(shù)原理來看，PVD、CVD、ALD 在新型高效電池中都有應(yīng)用空間，其中PVD應(yīng)用環(huán)節(jié)相對(duì)單一，CVD和ALD可能的應(yīng)用環(huán)節(jié)較多。

效率上限決定了何種電池技術(shù)路徑有更長(zhǎng)遠(yuǎn)的利潤(rùn)釋放，是電池技術(shù)路徑升級(jí)的判斷標(biāo)準(zhǔn)，而成本決定了短期何種電池技術(shù)可以最早實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。目前下一代高效電池技術(shù)中，從客戶需求、投資成本角度來看，TOPCon 電池在產(chǎn)業(yè)化過程中已獲得先發(fā)優(yōu)勢(shì)。ALD(包括 TALD 和 PEALD)應(yīng)用于 TOPCon 的Al2O3 鈍化層、隧穿氧化層驗(yàn)證情況較好，且在其他類型電池中應(yīng)用前景廣泛。

綜合來看，光伏領(lǐng)域 ALD 技術(shù)不存在被取代的風(fēng)險(xiǎn)。

目前公司在下一代高效光伏電池的技術(shù)研發(fā)主要圍繞TOPCon電池展開，主要是從下游產(chǎn)線成熟度角度出發(fā)。公司的 ALD 技術(shù)可用于 TOPCon 電池隧穿層和鈍化層的沉積，并且還一并研發(fā)了用于 TOPCon 電池減反層、多晶硅層的PECVD 技術(shù)，以更好的為下游電池廠商提供薄膜沉積的整體解決方案，目前相關(guān)設(shè)備已向客戶發(fā)貨，處于產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證中。除此之外，公司在其他新型高效電池技術(shù)方面的技術(shù)儲(chǔ)備、設(shè)備試制、協(xié)同客戶推動(dòng)產(chǎn)業(yè)化落地工作也在同步開展。

下游技術(shù)路線處于多種技術(shù)并行狀態(tài)，雖然公司的 ALD 技術(shù)已在 TOPCon電池應(yīng)用中展現(xiàn)出一定的優(yōu)勢(shì)，但如果未來其他電池技術(shù)路線的產(chǎn)線投資和運(yùn)營(yíng)成本顯著下降，而公司的 ALD技術(shù)、CVD技術(shù)未能在該電池技術(shù)路線的應(yīng)用上形成有效突破，則會(huì)對(duì)公司在未來在光伏領(lǐng)域的發(fā)展造成不利的影響。因此，公司在招股說明書“重大事項(xiàng)”中就技術(shù)迭代及新產(chǎn)品開發(fā)風(fēng)險(xiǎn)披露如下：

“公司所生產(chǎn)的薄膜沉積設(shè)備屬于技術(shù)密集型產(chǎn)品，產(chǎn)品技術(shù)含量和附加值高。隨著技術(shù)和應(yīng)用領(lǐng)域的不斷發(fā)展，下游客戶對(duì)薄膜沉積設(shè)備工藝路線、材料類型、技術(shù)指標(biāo)等要求也不斷變化，因此會(huì)對(duì)產(chǎn)品提出新的要求。公司只有不斷緊跟行業(yè)技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)、及時(shí)研發(fā)可滿足行業(yè)技術(shù)要求的產(chǎn)品，方能在競(jìng)爭(zhēng)中保持優(yōu)勢(shì)地位。

如果公司未能準(zhǔn)確理解下游客戶的產(chǎn)線設(shè)備及工藝技術(shù)演進(jìn)需求，或者技術(shù)創(chuàng)新產(chǎn)品不能契合客戶需求，如無法持續(xù)提供滿足 PERC 電池降本增效的產(chǎn)品、無法適應(yīng)未來新型高效電池(TOPCon、HJT 等)或半導(dǎo)體制造工藝制程繼續(xù)提高等新的應(yīng)用需求，可能導(dǎo)致公司設(shè)備無法滿足下游生產(chǎn)制造商的需要，從而可能對(duì)公司的經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)?cè)斐刹焕绊憽?rdquo;(陳蒙蒙)

關(guān)鍵詞： 微導(dǎo)納米 科創(chuàng)板首輪問詢 先進(jìn)薄膜沉積設(shè)備 財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)